Centros de Asistencia a la Investigación

Evaporador en sala blanca

Evaporador por cañón de electrones con revóver para conseguir hasta cuatro capas sucesivas de diferentes materiales. Experiencia en evaporación de Au, AuGe, Al, Cu, SiO2, Pt, TiO2, LiF, Co,Ag,Ni, Si etc
CAI Técnicas Físicas
Unidad de Implantación iónica