Evaporador por cañón de electrones y por efecto Joule
Evaporador de todo tipo de materiales en vacío. Los materiales a evaporar se calientan o bien por filamento (Joule) o mediante el bombardeo con electrones. Una microbalanza de cuarzo mide el espesor depositado. Experiencia en evaporación de Au, AuGe, Al, Cu, SiO2, Pt, TiO2, LiF, Co,Ag,Ni, Si etc