Centros de Asistencia a la Investigación

Evaporador por cañón de electrones y por efecto Joule

Evaporador de todo tipo de materiales en vacío. Los materiales a evaporar se calientan o bien por filamento (Joule) o mediante el bombardeo con electrones. Una microbalanza de cuarzo mide el espesor depositado. Experiencia en evaporación de Au, AuGe, Al, Cu, SiO2, Pt, TiO2, LiF, Co,Ag,Ni, Si etc
CAI Técnicas Físicas
Unidad de Implantación iónica