Centros de Asistencia a la Investigación

Implantador de iones

Implantador de iones de 200KeV y 4" de área de implantación. Capacidad para implantar casi todos los elementos de la tabla periódica. Portamuestras con capacidad de controlar la temperatura de la muestra (hasta 600 grados centígrados). Posibilidad de realizar implantaciones a temperatura de Nitrógeno líquido.
Algunos ejemplos de iones implantados son: H, He, Ar, Xe, Si, Fe, Co, Ni, Ti, V, Cr, S, Mn, Mg, Ce, P, Er. Mo,N etc.
CAI Técnicas Físicas
Unidad de Implantación iónica