Unidad de Pulverización catódica de alta presión de oxígeno y Litografía
Esta Unidad ofrece dos técnicas principales: Pulverización Catódica de alta presión de oxigeno (sputtering) y litografía por haz de electrones (RAITH 50). Ambos sistemas están situados dentro de la Sala Limpia del CAI de Técnicas Físicas.
Contacto
CAI Técnicas Físicas
Unidad de Pulverización catódica de alta presión de oxígeno y Litografía
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