Centros de Asistencia a la Investigación

Unidad de Pulverización catódica de alta presión de oxígeno y Litografía

Esta Unidad ofrece dos técnicas principales: Pulverización Catódica de alta presión de oxigeno (sputtering) y litografía por haz de electrones (RAITH 50). Ambos sistemas están situados dentro de la Sala Limpia del CAI de Técnicas Físicas.

 

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Unidad de Pulverización catódica de alta presión de oxígeno y Litografía
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28040 MADRID (Madrid)
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