Centros de Asistencia a la Investigación

Litrografía por haz de electrones

Técnica para la definicion de patrones en la superficie de una muestra con resina sensible al haz de electrones.
Instrumentación
Personal
Alberto Rivera Calzada
CAI Técnicas Físicas
Unidad de Pulverización catódica de alta presión de oxígeno y Litografía