Implantación iónica

Introducción de iones en sustratos para la modificación de las características eléctricos o superficiales del mismo. Algunos ejemplos de iones implantados son: H, He, Ar, Xe, Si, Fe, Co, Ni, Ti, V, Cr, S, Mn, Mg, Ce, P, Er. Mo,N etc. Control de la temperatura de la implantación (hasta 600 grados centígrados) y posibilidad de implantar a temperatura de Nitrógeno líquido.