JSM 7600F

El JSM 7600F es un microscopio electrónico de barrido que combina la obtención de imágenes en ultra-alta resolución con la funcionalidad analítica optimizada. Además el microscopio permite la visualización de muestras de hasta 200 mm de diámetro y dispone de una gran variedad de detectores para electrones secundarios, electrones retrodispersados, EDS, WDS, BSED, CL, etc.

Especificaciones Técnicas
Resolución:
Electrones secundarios (SEI):
1.0nm a 15 kV.
1,5nm a 1 kV en modo GB.
2,5nm a 1kV en modo SEM.
Voltaje de aceleración:
0.1 a 30 kV.
0,5 a 30 kV en modo SEM.
10 V cada paso desde 0.5 a 2.9 kV.
100 V cada paso desde 2.9 a 30 kV.
0.1 a 4 en modo GB.
Cañón de electrones:
Tipo: Schottky emisión de campo.
Emisor: ZrO/W.
Alineamiento: Deflexión mecánica y electromagnética.
Platina totalmente eucéntrica control por ordenador y movimientos motorizados (X, Y, R, T, Z) con corrección de backlash.
Movimientos de muestras:
Eje X: 70 mm.
Eje Y: 50 mm.
Eje Z: 1,5 a 25 mm (continuo).
Inclinación (T): –5º a +70º.
Rotación (R): 360º.
Sistema de detección de electrones:
Detector “in lens” SEI/BEI: Upper. Colector, centellador, guía de luz y tubo fotomultiplicador.
Detector en cámara de muestras: Colector, centellador, guía de luz y tubo fotomultiplicador. SEI.
Detector BE de bajo ángulo .
Sistema de vacío:
Cámaras cañón/intermedia: Bombas iónicas de ultra alto vacío.
Cámara de muestras: Sistema automático de bomba turbomolecular.
Válvula aislamiento de la cámara de cañón.
Bombas de vacío:
Bombas iónicas (SIP).
Bomba turbomolecular.
Bomba rotatoria.
Tanque de reserva de vacío.